Mooore schreef op 8 september 2023 11:29:
[...]
Een "stuk" in het eerste voorbeeld kost 800 en in het tweede voorbeeld 1111.
Maar wat is je punt? Probeer je te zeggen dat een goedkope DUV economisch voordeliger is dan de dure EUV?
Dan vergeet je (nog afgezien van je fictieve cijfers) dat om dezelfde chip op DUV te maken, multi-patterning nodig is. Oftewel, meerdere keren door de ASML machine. Voor double-patterning halveert je opbrengst dus (om nog maar te zwijgen over triple of quadruple patterning). En de chips die er dan uitkomen hebben nog steeds maar een yield van 50% (in jouw voorbeeld).
Daarnaast gaan er nog heel veel meer proces-stappen in het maken van een chip, niet alleen litho. Al die stappen (en al het kapitaal dat daarvoor nodig is) levert dus 50% afkeur op.
Kortom, het is inderdaad niet onmogelijk om met oudere generatie litho-machines toch lagere nodes te maken. Maar het is tijdrovend en duur, precies zoals eerder vermeld. Sneller en goedkoper is uiteindelijk EUV met single-patterning en hoge yield.